在常温下，可以认为石英玻璃是不透气的，在高温（例如700℃）下，某些气体的透气常数也很小。因此可以用在高温高真空装备中。 

表  石英玻璃容器连续抽真空所获得的最高真空度（实验条件）

种类                 真空度（毫米汞柱）及温度（℃）

                                      20         900

透明石英玻璃         3.7×10-6     7.0×10-6

不透明石英玻璃     1×10-5     7.4×10-6

表 石英玻璃的透气常数K

气体 透气常数K

        200℃         400℃         600℃         700℃         800℃         900℃         1000℃

氦     1.39             6.15          16.4             21.9            28.5           36.2            45.4

氢     0.022           0.37          1.43             2.52            4.25           6.40           10.00

氘（重氢） 17

氖      2.8             4.2

氩 <10-15

氧 <10-15

氮 <10-15

单位：×10-10厘米3.毫米/秒.厘米2乇（在标准压力下）